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用于设计具有用于多阵列交叉方向(CD)幅材制造或处理系统或其他系统的时间上稳健的稳定性和性能的基于模型的控制的方法和装置

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摘要

本发明提供了一种方法，所述方法包括在具有多个致动器阵列(114，116，118，120)的工业过程(100，302)中获得(902)与基于模型的控制器(104，306)相关联的模型(304)并执行(914)所述控制器的时间调谐。所述时间调谐包括调节用于平滑化所述致动器阵列的致动器轮廓的基准轨迹的多变量滤波器(308)的一个或多个参数。所述时间调谐还能够包括获得(904)用于所述模型的一个或多个时间参数的一个或多个不确定性规格，获得(916)所述致动器轮廓的一个或多个过冲极限，识别(918)轮廓轨迹调谐参数的最小界限，以及识别(920)使一个或多个测量沉降时间最小化而不超过所述一个或多个过冲极限的所述轮廓轨迹调谐参数中的一个或多个。所述控制器能够被配置为在所述工业过程的控制期间使用所述一个或多个经过调节的参数，使得所述一个或多个参数的所述调节改变所述控制器和所述工业过程的操作。

著录项

公开/公告号CN110637261A

专利类型发明专利
公开/公告日2019-12-31

原文格式PDF
申请/专利权人霍尼韦尔有限公司;
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申请/专利号CN201880016484.5
发明设计人贺宁;迈克尔·福布斯;约翰·U·巴克斯卓;陈同文;
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申请日2018-03-02
分类号
代理机构中国专利代理(香港)有限公司;
代理人蒋骏
地址加拿大安大略省密西沙加市
入库时间 2024-02-19 17:33:05

法律信息

法律状态公告日

法律状态信息

法律状态
2020-01-24

实质审查的生效 IPC(主分类):G05B17/02 申请日:20180302

实质审查的生效
2019-12-31

公开

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