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用于产生电子束的装置及用于制造该装置的方法

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摘要

本发明涉及一种用于产生电子束的装置，该装置包括：阴极；外壳，该外壳具有形成在其一侧处的开口，使得该阴极联接至该开口，并且该外壳具有形成在其中的谐振腔；以及垫圈，该垫圈被插置在阴极与外壳之间，使得根据阴极与外壳之间的联接强度来压缩该垫圈以使谐振腔与外部切断。

法律状态公告日

法律状态信息

法律状态
2015-09-09

发明专利申请公布后的视为撤回 IPC(主分类):H01J37/06 申请公布日:20130102 申请日:20110311

发明专利申请公布后的视为撤回
2013-02-20

实质审查的生效 IPC(主分类):H01J37/06 申请日:20110311

实质审查的生效
2013-01-02

公开

公开

1. 用于产生电子束的装置及用于制造该装置的方法 [P] . 中国专利： CN102859634A . 2013-01-02
2. 用于产生电子束的方法和装置 [P] . 中国专利： CN104272425A . 2015-01-07
3. Arrangement for deflecting a by means of an electron beam gun generated electron beam, a method for generating a deflection signal and method for operating an electron beam gun [P] . 德国专利： DE102014105451B3 . 2015-08-27

机译：用于借助于电子束枪产生的电子束偏转的装置，用于产生偏转信号的方法和用于操作电子束枪的方法
4. Arrangement for deflecting a by means of an electron beam gun generated electron beam, a method for generating a deflection signal and method for operating an electron beam gun [P] . 德国专利： DE102014105452B3 . 2015-08-27

机译：用于借助于电子束枪产生的电子束偏转的装置，用于产生偏转信号的方法和用于操作电子束枪的方法
5. ELECTRON BEAM GENERATING APPARTUS, ELECTRON BEAM IRRADAITION APPARATUS, MULTI-ELECTRON BEAM IRRADIATION APPARATUS, ELECTRON BEAM EXPOSURE APPARATUS, ELECTRON BEAM IRRADIATION METHOD, AND MANUFACTURE METHOD [P] . 世界知识产权组织专利： WO2013118517A1 . 2013-08-15

机译：电子束产生装置，电子束辐照装置，多电子束辐照装置，电子束曝光装置，电子束辐照方法和制造方法