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音响传感器、音响转换器、利用该音响转换器的传声器、及音响转换器的制造方法

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摘要

在本发明的音响传感器(1)中，在硅基板(11)的上表面，隔着气隙(22)而配置有导电性的振动膜(14)和上固定电极板(5)，并且在硅基板(11)的表面上添加有杂质。

法律状态公告日

法律状态信息

法律状态
2016-05-25

发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):H04R19/04 申请公布日:20130130 申请日:20110420

发明专利申请公布后的驳回
2013-03-13

实质审查的生效 IPC(主分类):H04R19/04 申请日:20110420

实质审查的生效
2013-01-30

公开

公开

1. 音响传感器、音响转换器、利用该音响转换器的传声器、及音响转换器的制造方法 [P] . 中国专利： CN102907118A . 2013-01-30
2. 音响转换器、及利用该音响转换器的传声器 [P] . 中国专利： CN102918874A . 2013-02-06
3. method of manufacturing the acoustic matching body, acoustic matching body, ultrasonic transducer using the acoustic matching body, and ultrasonic flowmeter [P] . 日本专利： JPWO2013008470A1 . 2015-02-23

机译：音响匹配体的制造方法，音响匹配体，使用该音响匹配体的超声波换能器以及超声波流量计
4. / Sound system with sound amplifier added D/A converter [P] . 韩国专利： KR20020015842A . 2002-03-02

机译： /带有带D / A转换器的声音放大器的音响系统
5. Data converters for sound equipment [P] . 美国专利： US5815530A . 1998-09-29

机译：音响设备的数据转换器