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在微细空间内形成功能部分的方法

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本发明提供使用低温分散系功能性材料在微细空间内形成没有空隙、间隙或空洞的功能部分的方法。将在液状分散介质(51)中分散具有热熔化性的功能性微粉(52)而得到的分散系功能性材料(5)填充到微细空间(3)内。接着，使微细空间(3)内的液状分散介质(51)蒸发。然后，通过热处理使功能性微粉(52)热熔化后，一边加压一边冷却。

著录项

公开/公告号CN103137438A

专利类型发明专利
公开/公告日2013-06-05

原文格式PDF
申请/专利权人纳普拉有限公司;
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申请/专利号CN201210495101.1
发明设计人关根重信;关根由莉奈;
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申请日2012-11-28
分类号H01L21/02;B81C1/00;
代理机构永新专利商标代理有限公司;
代理人陈建全
地址日本东京都
入库时间 2024-02-19 19:24:31

法律信息

法律状态公告日

法律状态信息

法律状态
2017-06-06

发明专利申请公布后的视为撤回 IPC(主分类):H01L21/02 申请公布日:20130605 申请日:20121128

发明专利申请公布后的视为撤回
2014-12-17

实质审查的生效 IPC(主分类):H01L21/02 申请日:20121128

实质审查的生效
2013-06-05

公开

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