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用于减少与半导体淀积系统相关的反应室中的非所需淀积物的工艺和系统

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用于减少与半导体淀积系统相关的反应室内的非所需淀积物的工艺和系统。可以使清洁气体流过延伸穿过至少一个气体炉的至少一个气流路径，而且可以将已加热的清洁气体引入到反应室以从反应室内移除至少一部分非所需淀积物。

著录项

公开/公告号CN104011259A

专利类型发明专利
公开/公告日2014-08-27

原文格式PDF
申请/专利权人 SOITEC公司;
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申请/专利号CN201280064081.0
发明设计人 R·T·小贝尔特拉姆;
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申请日2012-11-12
分类号C23C16/30;C23C16/44;C30B25/02;C30B25/08;C30B29/40;
代理机构北京戈程知识产权代理有限公司;
代理人程伟
地址法国贝尔尼
入库时间 2023-12-17 01:19:50

法律信息

法律状态公告日

法律状态信息

法律状态
2017-02-01

发明专利申请公布后的视为撤回 IPC(主分类):C23C16/30 申请公布日:20140827 申请日:20121112

发明专利申请公布后的视为撤回
2014-12-31

实质审查的生效 IPC(主分类):C23C16/30 申请日:20121112

实质审查的生效
2014-08-27

公开

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1. 用于减少与半导体淀积系统相关的反应室中的非所需淀积物的工艺和系统 [P] . 中国专利： CN104011259A . 2014-08-27
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机译：药物组合物和减少患者视网膜神经节细胞层中斑块负荷，减少患者视网膜神经节细胞层中斑块数量，减少患者视网膜神经节患者层中可溶性β-淀粉样蛋白总量的方法预防，治疗或减轻与病理异常/视觉系统组织变化有关的眼病的影响，诊断与病理异常/系统组织变化有关的眼病的易感性，以监测与病理相关的最小残留眼病视觉系统组织异常/变化，以预测患者的反应能力，并保持或降低患者眼睛的眼压