公开/公告号CN104276575A
专利类型发明专利
公开/公告日2015-01-14
原文格式PDF
申请/专利权人 四川瑞能硅材料有限公司;
申请/专利号CN201310286633.9
申请日2013-07-09
分类号C01B33/107;
代理机构北京集佳知识产权代理有限公司;
代理人赵青朵
地址 620041 四川省眉山市东坡区修文镇铝硅工业园四川瑞能硅材料有限公司
入库时间 2023-12-17 02:24:16
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2017-12-08
发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):C01B33/107 申请公布日:20150114 申请日:20130709
发明专利申请公布后的驳回
2015-02-11
实质审查的生效 IPC(主分类):C01B33/107 申请日:20130709
实质审查的生效
2015-01-14
公开
公开
机译: 四氯化硅或四氯化硅与一种或多种其他金属氯化物的混合物的生产方法
机译: 四氯化硅或四氯化硅与一种或多种其他金属氯化物的混合物的生产方法
机译: 在硅沉积的情况下,一种后处理方法是使四氯化硅与四氯化硅-产生的残留气体转化