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带电粒子束产生装置、带电粒子束装置、高电压产生装置以及高电位装置

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本发明的带电粒子束产生装置具备：带电粒子源；沿着来自带电粒子源的带电粒子的照射方向配置的多个第一电极；配置在第一电极之间的多个绝缘部件；以及设置在多个第一电极周围的壳体。壳体由绝缘性的固体材料形成，壳体具备配置在接近多个第一电极的位置上的多个第二电极。多个第二电极中的至少一个第二电极与多个第一电极中的至少一个第一电极电连接，多个第二电极中的各个第二电极成为与接近的第一电极的电位相同的电位。

著录项

公开/公告号CN104364878A

专利类型发明专利
公开/公告日2015-02-18

原文格式PDF
申请/专利权人株式会社日立高新技术;
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申请/专利号CN201380030519.8
发明设计人大西崇;渡边俊一;金田实;
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申请日2013-05-08
分类号H01J37/248;H01J37/067;H01J37/16;
代理机构北京银龙知识产权代理有限公司;
代理人曾贤伟
地址日本东京都
入库时间 2023-12-17 04:19:09

法律信息

法律状态公告日

法律状态信息

法律状态
2016-12-21

发明专利申请公布后的视为撤回 IPC(主分类):H01J37/248 申请公布日:20150218 申请日:20130508

发明专利申请公布后的视为撤回
2015-03-25

实质审查的生效 IPC(主分类):H01J37/248 申请日:20130508

实质审查的生效
2015-02-18

公开

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