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一种改进型奥夫纳尔检验超大口径凹非球面镜的光学系统

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本发明公开了一种改进型奥夫纳尔检验超大口径凹非球面镜的光学系统。由检测设备发出光线经第一补偿透镜和第二补偿透镜透射，至待检凹非球面镜自准后返回。光学系统选用大入射光线孔径角，第一补偿透镜承担较大的非球面法线像差，大大提高了补偿能力，在小口径比条件下实现了非球面球差的平衡；补偿器口径与被检非球面口径比非常小，仅为0.025；采用两片式补偿器结构，补偿透镜数量少、全球面设计，打破了为了检验大口径非球面将补偿系统非球面镜化的设计局限，方案简单，加工周期更短；检验光路像质优良，波像差达到PV值优于0.1λ，适合高精度的非球面面形加工。改进型奥夫纳尔检验可以实现14m超大口径、1:1.43超大相对孔径的非球面镜检验。

著录项

公开/公告号CN110779462A

专利类型发明专利
公开/公告日2020-02-11

原文格式PDF
申请/专利权人中国科学院上海技术物理研究所;
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申请/专利号CN201911093645.3
发明设计人王欣;刘强;周浩;何志平;舒嵘;贾建军;
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申请日2019-11-11
分类号
代理机构上海沪慧律师事务所;
代理人郭英
地址 200083 上海市虹口区玉田路500号
入库时间 2023-12-17 06:26:01

法律信息

法律状态公告日

法律状态信息

法律状态
2020-03-06

实质审查的生效 IPC(主分类):G01B11/24 申请日:20191111

实质审查的生效
2020-02-11

公开

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