公开/公告号CN111186752A
专利类型发明专利
公开/公告日2020-05-22
原文格式PDF
申请/专利权人 山东大学;
申请/专利号CN202010069324.6
申请日2020-01-21
分类号B66B9/00(20060101);B66B11/00(20060101);B66B1/06(20060101);B66B1/34(20060101);B66B5/00(20060101);E04F17/00(20060101);
代理机构37219 济南金迪知识产权代理有限公司;
代理人赵龙群
地址 250061 山东省济南市历下区经十路17923号
入库时间 2023-12-17 07:51:36
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2020-06-16
实质审查的生效 IPC(主分类):B66B9/00 申请日:20200121
实质审查的生效
2020-05-22
公开
公开
机译: 用于将MEMS(微机电系统)超声转换的装置,一种PMUT(压电微机械超声换能器)装置以及一种将有源转换器与多个钝化层相结合的有源矩阵转换器(一种方法)和一种用于解决问题的方法系统)超声波
机译: 制造例如用作金属微结构的金属微结构。齿轮,包括在基板表面的导电部分上施加光敏树脂层,将树脂层的表面整平至所需厚度,以及辐照树脂层
机译: 制造例如用作金属微结构的金属微结构。齿轮,包括在基板表面的导电部分上施加光敏树脂层,将树脂层的表面整平至所需厚度,以及辐照树脂层