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一种温度自补偿的面内双轴加速度传感器及温度补偿方法

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本发明公开了一种温度自补偿的面内双轴加速度传感器及温度补偿方法，包括质量块，质量块的周围呈中心对称均匀布置有多组谐振敏感元件，当面内任意方向、任意大小的加速度施加于器件时，质量块同时对多组谐振敏感元件施加应力，改变其本征频率，谐振频率分别由对应的实时频率读取电路读出。本发明相比于传统的差分式单轴加速度传感器，在测量精度、灵敏度、测试量程等方面都具有独特的优势。本发明提供的温度补偿方法，除了消除温度带来的系统误差之外，还可额外提供当前的温度值信息。

著录项

公开/公告号CN111157761A

专利类型发明专利
公开/公告日2020-05-15

原文格式PDF
申请/专利权人西安交通大学;
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申请/专利号CN202010003090.5
发明设计人韦学勇;王曙东;徐柳;朱威龙;蒋庄德;
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申请日2020-01-02
分类号G01P15/097(20060101);G01P21/00(20060101);
代理机构61200 西安通大专利代理有限责任公司;
代理人高博
地址 710049 陕西省西安市咸宁西路28号
入库时间 2023-12-17 08:42:57

法律信息

法律状态公告日

法律状态信息

法律状态
2020-06-09

实质审查的生效 IPC(主分类):G01P15/097 申请日:20200102

实质审查的生效
2020-05-15

公开

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