公开/公告号CN111220739A
专利类型发明专利
公开/公告日2020-06-02
原文格式PDF
申请/专利权人 福建中烟工业有限责任公司;厦门烟草工业有限责任公司;
申请/专利号CN202010191269.8
申请日2020-03-18
分类号
代理机构中国国际贸易促进委员会专利商标事务所;
代理人杜仙
地址 361012 福建省厦门市思明区莲岳路118号中烟工业大厦
入库时间 2023-12-17 08:59:54
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2020-06-26
实质审查的生效 IPC(主分类):G01N30/06 申请日:20200318
实质审查的生效
2020-06-02
公开
公开
机译: 氧化物半导体薄膜,在氧化物半导体薄膜的表面具有保护膜的层叠体的品质评价方法以及氧化物半导体薄膜的品质控制方法
机译: 氧化物半导体薄膜品质的评价方法,氧化物半导体薄膜品质的管理方法以及使用上述方法进行质量管理的半导体制造装置
机译: 氧化物半导体薄膜品质的评价方法,氧化物半导体薄膜品质的管理方法以及使用上述方法进行质量管理的半导体制造装置