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应用于硅基光电子芯片晶圆级在线测试的混合探卡

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本发明公开了一种应用于硅基光电子芯片晶圆级在线测试的混合探卡，涉及硅光子与光电子集成领域。该混合探卡包括凹形槽阵列衬底、固定在凹形槽阵列衬底上的光纤探针阵列、与光纤探针阵列相连的光纤连接端口阵列、用于控制光纤探针阵列移动的光纤探针阵列控制臂、直流探针阵列、直流探针阵列引出的直流连接端口排线、高频探针阵列、高频探针阵列引出的高频连接端口阵列、用于控制直流探针阵列和高频探针阵列移动的直流高频探针阵列控制臂。本发明能降低硅基光电子芯片晶圆级在线测试的测试成本和测试风险，提高测试效率，兼容大多数硅基光电子芯片的布局。

著录项

公开/公告号CN111123072A

专利类型发明专利
公开/公告日2020-05-08

原文格式PDF
申请/专利权人武汉邮电科学研究院有限公司;武汉光谷信息光电子创新中心有限公司;
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申请/专利号CN201911370040.4
发明设计人冯朋;肖希;王磊;李淼峰;
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申请日2019-12-26
分类号
代理机构武汉智权专利代理事务所(特殊普通合伙);
代理人邱云雷
地址 430074 湖北省武汉市洪山区邮科院路88号
入库时间 2023-12-17 10:08:05

法律信息

法律状态公告日

法律状态信息

法律状态
2020-06-02

实质审查的生效 IPC(主分类):G01R31/28 申请日:20191226

实质审查的生效
2020-05-08

公开

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