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基于正交探针的开尔文探针力显微镜系统及样品侧壁扫描方法

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基于正交探针的开尔文探针力显微镜系统及样品侧壁扫描方法，属于开尔文探针力显微镜测量技术领域。本发明是为了解决现有开尔文探针力显微镜不能实现半导体元器件上微纳三维结构的侧壁表面形貌和表面电势的测量的问题。它设计了新的正交探针结构，然后利用正交探针的扭转信号测量具有微纳米级三维结构样品侧壁的表面形貌和局部表面电势；方法中步骤一实现样品侧壁表面形貌的测量，步骤二和步骤三实现样品侧壁表面电势的测量，步骤四实现样品侧壁表面的成像测量。本发明用于实现微纳三维结构的样品侧壁表面形貌和局部表面电势的测量。

著录项

公开/公告号CN111398638A

专利类型发明专利
公开/公告日2020-07-10

原文格式PDF
申请/专利权人哈尔滨工业大学;
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申请/专利号CN202010238378.0
发明设计人谢晖;张号;耿俊媛;孟祥和;宋健民;
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申请日2020-03-30
分类号
代理机构哈尔滨市松花江专利商标事务所;
代理人张利明
地址 150001 黑龙江省哈尔滨市南岗区西大直街92号
入库时间 2023-12-17 10:24:54

法律信息

法律状态公告日

法律状态信息

法律状态
2020-08-04

实质审查的生效 IPC(主分类):G01Q60/30 申请日:20200330

实质审查的生效
2020-07-10

公开

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1. 基于正交探针的开尔文探针力显微镜系统及样品侧壁扫描方法 [P] . 中国专利： CN111398638A . 2020-07-10
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