公开/公告号CN111399210A
专利类型发明专利
公开/公告日2020-07-10
原文格式PDF
申请/专利权人 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所;
申请/专利号CN202010322438.7
申请日2020-04-22
分类号G02B23/00(20060101);G01C3/00(20060101);G06N3/08(20060101);
代理机构11227 北京集佳知识产权代理有限公司;
代理人巴翠昆
地址 130033 吉林省长春市长春经济技术开发区东南湖大路3888号
入库时间 2023-12-17 10:24:54
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2020-08-04
实质审查的生效 IPC(主分类):G02B23/00 申请日:20200422
实质审查的生效
2020-07-10
公开
公开
机译: 对准装置,成膜装置,对准方法,电子设备生产方法,程序和存储介质
机译: 对准装置,成膜装置,对准方法,电子设备,节目和存储介质的制造方法
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