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基于ZEMAX的任意形状光栅仿真系统

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摘要

本发明公开了一种基于ZEMAX的任意形状光栅仿真系统，包括动态链接库(DLL)接口、计算模块、加速方法、数据库模块、查找模块以及插值模块，所述动态链接库接口用于将算法嵌入光学仿真软件ZEMAX，使ZMEAX能够调用自定义的光栅模型；所述理论模型采用三维严格耦合波分析(RCWA)，用于计算给定参数下任意形状光栅的衍射特性；所述加速方法采用GPU加速原理，运用GPU强大的并行运算能力实现RCWA的快速运算，达到初步加速优化算法的目的；所述数据库模块由多个记录组成，每个记录由衍射参数集标记，记录了给定参数下的衍射特性；所述查找模块采用散列表方法，用于快速查找给定参数对应的记录，实现仿真算法的进一步加速；所述插值模块用于计算非记录参数的衍射特性。该模型能够快速计算给定参数下光栅的衍射特性，并能够应用于ZEMAX实现光线追迹成像仿真。

著录项

  • 公开/公告号CN111563311A

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2020-08-21

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 东南大学;

    申请/专利号CN202010091072.7

  • 发明设计人 张宇宁;刘皓天;

    申请日2020-02-13

  • 分类号G06F30/20(20200101);

  • 代理机构32206 南京众联专利代理有限公司;

  • 代理人杜静静

  • 地址 210096 江苏省南京市玄武区四牌楼2号

  • 入库时间 2023-12-17 11:03:07

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2020-08-21

    公开

    公开

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