公开/公告号CN1201379A
专利类型发明专利
公开/公告日1998-12-09
原文格式PDF
申请/专利权人 京都第一科学株式会社;
申请/专利号CN96198036.2
发明设计人 芦辺惠美;
申请日1996-10-30
分类号A61B10/00;A61B5/14;
代理机构永新专利商标代理有限公司;
代理人吴静波
地址 日本京都府
入库时间 2023-12-17 13:13:05
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2012-01-04
未缴年费专利权终止 IPC(主分类):A61B10/00 授权公告日:20050112 终止日期:20101030 申请日:19961030
专利权的终止
2005-01-12
授权
授权
1998-12-23
实质审查请求的生效
实质审查请求的生效
1998-12-09
公开
公开
机译: 确定粗糙度传感器的测量条件的方法,用于测量工件表面粗糙度的方法,计算机程序产品以及为执行该方法而设置的测量装置
机译: 测量条件设置方法和光学测量装置
机译: 具有改进的对准标记位置测量条件设置特征的曝光设备以及使用该曝光设备的装置制造方法