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在真空中生成金刚石般碳涂层的方法

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一种在真空中生成金刚石般碳涂层的方法,包括以下步骤:将部件表面预处理;将部件放入真空室中;用加速离子处理部件的表面;在经处理的部件表面涂上一亚表层;从阴极斑点对石墨阴极进行电弧真空溅射从而生成碳等离子体;将碳等离子体的离子加速;将所生成的碳等离子体沉积在部件表面从而生成金刚石般的碳涂层。采用脉冲电弧放电在石墨阴极的端表面激发一组阴极斑点,所述的斑点以10－30米每秒的速度沿阴极的端表面移动,生成离子能量为40－100电子伏特的碳等离子体,等离子体中离子浓度为10

著录项

公开/公告号CN1258322A

专利类型发明专利
公开/公告日2000-06-28

原文格式PDF
申请/专利权人帕蒂纳公司;
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申请/专利号CN98805586.4
发明设计人瓦勒里·P·冈查伦科;亚历山大·J·科尔帕科夫;安纳托利·I·马斯洛夫;
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申请日1998-05-28
分类号C23C14/06;C23C14/22;C23C14/32;
代理机构柳沈知识产权律师事务所;
代理人张平元
地址挪威奥斯陆
入库时间 2023-12-17 13:37:56

法律信息

法律状态公告日

法律状态信息

法律状态
2001-03-28

专利申请的视为撤回

专利申请的视为撤回
2000-06-28

公开

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