法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2009-05-27
专利权的终止(未缴年费专利权终止)
专利权的终止(未缴年费专利权终止)
2005-02-23
授权
授权
2003-11-19
实质审查的生效
实质审查的生效
2003-09-03
公开
公开
机译: 晶种材料的单晶碳化硅液相外延生长及单晶碳化硅的液相外延生长方法
机译: 晶种材料的单晶碳化硅液相外延生长及单晶碳化硅的液相外延生长方法
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