公开/公告号CN1527377A
专利类型发明专利
公开/公告日2004-09-08
原文格式PDF
申请/专利权人 株式会社日立高新技术;
申请/专利号CN200410007062.1
申请日2003-02-27
分类号H01L21/768;H01L21/28;
代理机构中国国际贸易促进委员会专利商标事务所;
代理人杜日新
地址 日本东京都
入库时间 2023-12-17 15:30:37
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2007-04-04
发明专利申请公布后的视为撤回
发明专利申请公布后的视为撤回
2004-11-10
实质审查的生效
实质审查的生效
2004-09-08
公开
公开
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