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等离子体处理系统中的整合阶梯式统计过程控制

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一种自动程序控制系统，用于控制具有用于处理衬底的室的等离子体处理系统。该自动程序控制系统包括在所述室内设置的第一传感器，该第一传感器用于进行与第一参数有关的第一组测量，该第一参数与至少部分设置在所述室内的结构有关。在处理该衬底期间执行第一组测量。自动程序控制系统还包括第一逻辑电路，被耦合以接收来自第一传感器的第一组测量结果。第一逻辑电路用于在处理期间使用SPC方法分析该第一组测量结果。自动程序控制系统还包括第二逻辑电路，被耦合以接收来自第一逻辑电路的第一信号，该第二逻辑电路用于在该第一信号表示该处理有错误的情况下，在完成所述处理之前则停止进行处理。

著录项

公开/公告号CN1672252A

专利类型发明专利
公开/公告日2005-09-21

原文格式PDF
申请/专利权人朗姆研究公司;
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申请/专利号CN03817980.6
发明设计人黄忠河;约翰·A·詹森;
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申请日2003-05-06
分类号H01L21/66;H01J37/32;
代理机构11240 北京康信知识产权代理有限责任公司;
代理人余刚
地址美国加利福尼亚州
入库时间 2023-12-17 16:33:52

法律信息

法律状态公告日

法律状态信息

法律状态
2017-06-27

未缴年费专利权终止 IPC(主分类):H01L21/66 授权公告日:20080319 终止日期:20160506 申请日:20030506

专利权的终止
2008-03-19

授权

授权
2005-11-23

实质审查的生效

实质审查的生效
2005-09-21

公开

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