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电镀内应力测量程序和电镀内应力测量系统

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摘要

为了测量电镀内应力，一种电镀内应力测量系统中的电镀内应力测量程序使计算机用作为：电镀条件输入装置，用于输入电镀条件；计算公式数据存储装置，用来预先存储用于计算电镀膜厚度的膜厚计算公式数据，以及用于计算电镀内应力的应力计算公式数据；膜厚计算装置，用于读取膜厚度计算公式数据，并计算电镀过程中的每一个定时的电镀膜厚度；应力计算装置，用于读取应力计算公式数据，并计算电镀过程中的每一个定时的电镀内应力；应力数据存储装置，用于存储电镀内应力；以及应力输出装置，用于输出在电镀过程中的每一个定时计算的电镀内应力。

著录项

  • 公开/公告号CN1676677A

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2005-10-05

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 株式会社山本镀金试验器;

    申请/专利号CN200410011532.1

  • 发明设计人 山本渡;

    申请日2004-12-24

  • 分类号C25D21/12;

  • 代理机构北京三友知识产权代理有限公司;

  • 代理人李辉

  • 地址 日本东京

  • 入库时间 2023-12-17 16:38:09

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2009-06-17

    发明专利申请公布后的视为撤回

    发明专利申请公布后的视为撤回

  • 2005-11-30

    实质审查的生效

    实质审查的生效

  • 2005-10-05

    公开

    公开

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