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对沉积工艺部件进行处理以形成颗粒捕集器的方法和在其上具有颗粒捕集器的沉积工艺部件

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摘要

本发明包括用于沿物理气相沉积部件的表面形成颗粒捕集器的方法，且包括在其上具有颗粒捕集器的物理气相沉积部件。本发明可包括将高度可溶的介质用于进行珠光处理和/或可包括将金属材料用作珠光处理介质。本发明还可包括沿需要颗粒捕集器的靶座的区域形成插入件，且所述插入件具有在颗粒捕集性质方面优于所述靶座的成分。

著录项

  • 公开/公告号CN1849409A

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2006-10-18

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 霍尼韦尔国际公司;

    申请/专利号CN200480026269.1

  • 发明设计人 金在衍;S·R·赛尔斯;J·K·卡多库斯;T·J·费兰;

    申请日2004-09-10

  • 分类号C23C14/56(20060101);C23C16/44(20060101);B08B7/00(20060101);C23C14/34(20060101);

  • 代理机构72001 中国专利代理(香港)有限公司;

  • 代理人廖凌玲

  • 地址 美国新泽西州

  • 入库时间 2023-12-17 17:46:56

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2009-08-12

    发明专利申请公布后的视为撤回

    发明专利申请公布后的视为撤回

  • 2006-12-13

    实质审查的生效

    实质审查的生效

  • 2006-10-18

    公开

    公开

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