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图案形成方法、液滴喷出装置、取向膜形成方法及装置

摘要

公开一种从喷出头向基板喷出含有图案形成材料的液滴,并在该基板上形成图案的图案形成方法。所述喷出头具有沿所述基板的一面排列的多个喷出口。在使所述基板相对于所述喷出头移动的同时,沿着相对于所述基板的法线倾斜的喷出方向从所述喷出口喷出含有所述图案形成材料的液滴。该液滴的喷出在使所述喷出口的排列方向相对于所述基板的移动方向倾斜的状态下进行。

著录项

  • 公开/公告号CN101024333A

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2007-08-29

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 精工爱普生株式会社;

    申请/专利号CN200710084152.4

  • 发明设计人 岩田裕二;

    申请日2007-02-17

  • 分类号B41J2/01;B41J2/04;B41J3/407;B41J29/38;H01L51/00;G02F1/133;

  • 代理机构中科专利商标代理有限责任公司;

  • 代理人李贵亮

  • 地址 日本东京

  • 入库时间 2023-12-17 18:59:03

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2010-07-14

    发明专利申请公布后的视为撤回 IPC(主分类):B41J2/01 公开日:20070829 申请日:20070217

    发明专利申请公布后的视为撤回

  • 2007-10-24

    实质审查的生效

    实质审查的生效

  • 2007-08-29

    公开

    公开

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