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利用化学气相沉积法以粘性前驱物沉积功能性梯度介电膜层的方法及系统

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本发明提供了一种在下垫层上形成梯度介电层的方法，该方法包含通过一包含一阻隔板及一面板的喷头导入一含硅碳气体、含氧气体及载气的气体混合，以形成此梯度介电层的富含氧化物部分，其中含硅碳气体具有初始流速；以一高于初始流速的第一中间流速导入含硅碳气体大约0.5秒或更长时间；以及以一高于第一中间流速的最快流速导入含硅碳气体，以形成梯度介电层中富含碳部分。

著录项

公开/公告号CN101065835A

专利类型发明专利
公开/公告日2007-10-31

原文格式PDF
申请/专利权人应用材料股份有限公司;
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申请/专利号CN200580034510.X
发明设计人迪内士·帕德希;朴贤秀;甘恩士·巴拉萨布拉曼尼恩;胡安·卡洛斯·罗奇-阿尔维斯;夏立群;德里克·R·威蒂;希姆·M’萨德;
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申请日2005-08-29
分类号H01L21/316(20060101);H01L21/768(20060101);C23C16/40(20060101);
代理机构11006 北京律诚同业知识产权代理有限公司;
代理人徐金国;梁挥
地址美国加利福尼亚州
入库时间 2023-12-17 19:20:12

法律信息

法律状态公告日

法律状态信息

法律状态
2015-10-28

未缴年费专利权终止 IPC(主分类):H01L21/316 授权公告日:20090408 终止日期:20140829 申请日:20050829

专利权的终止
2012-02-01

专利权人的姓名或者名称、地址的变更 IPC(主分类):H01L21/316 变更前: 变更后: 申请日:20050829

专利权人的姓名或者名称、地址的变更
2009-04-08

授权

授权
2007-12-26

实质审查的生效

实质审查的生效
2007-10-31

公开

公开

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