一种用于线切割预备工作减少粘胶气泡的方法

技术领域

本发明涉及一种用于线切割预备工作减少粘胶气泡的方法，该方法主要应用于对待切物进行线切割前的预备阶段。该方法特别是应用于多晶硅、单晶硅、半导体生产领域中对待切物进行线切割前的预备阶段。

背景技术

在线切割之前有一个预备工作涉及待切物和安装部件的粘胶以及胶的固化。

安装部件用于将粘合在其上的待切物固定在线切割设备的挂件上，也就是说粘合与固化结束后，待切物是通过安装部件固定在线切割设备的挂件上，再通过线切割设备将待切物切割成薄片。

目前常用的安装部件由底衬和托盘组成，而底衬又通常是毛玻璃，具体如下：

现有的待切物、毛玻璃、托盘的刷胶以及胶的固化具体过程如下：在托盘的一面刷胶，将毛玻璃与托盘粘合在一起，然后在毛玻璃的另一面刷胶，最后将待切物与毛玻璃粘合在一起，此时通过粘胶剂形成一个上层是待切物、中层是毛玻璃、底层是托盘的粘合组件。然后在常温常压状态下等待数小时甚至更长的时间才能完成粘胶剂的固化，当粘胶剂完全固化后，才能将由待切物、毛玻璃、托盘组成的粘结组件固定放置在线切割机中准备切割。

粘胶好坏会直接影响到切片过程中是否掉片的问题。这是由于在待切物、毛玻璃、托盘粘胶的过程中容易在粘胶剂中产生气泡，而由待切物切割而成的片很薄，带有气泡的粘胶剂与不带气泡的粘胶剂在同样的切割条件下与待切物的粘接力是有差异的。有粘胶剂气泡的地方与待切物粘接效果差，导致待切物在切割的过程中掉片。更严重的是，如果粘胶不均匀，还会引起在待切物被切割的过程中，毛玻璃与托盘或托盘与待切物整体脱离，严重影响整个批次的切割质量，造成经济损失。粘胶时产生的气泡还会影响薄片切割的尺寸和角度，从而也影响薄片切割的质量。所以刷胶均匀并减少气泡很重要。

现有的待切物、毛玻璃、托盘的粘胶过程中减少气泡的方法是依靠人工挤压或重物静压方式驱赶刷胶不均匀而产生的气泡，不仅费力，而且不能确保在粘胶过程中产生的气泡被完全排出，因而对于实现减低切片的掉片率是十分不利的。而且在常温常压状态下进行胶的固化，所需时间太长，工作效率低。

发明内容

本发明的目的在于提供一种用于线切割预备工作减少粘胶气泡的方法。该方法降低了线切割工艺中的掉片率，提高线切割的切割质量，改善线切割工艺，同时还大大地缩短了粘胶的固化时间，降低线切割切片的生产周期。

本发明的技术方案为：

一种用于线切割预备工作减少粘胶气泡的方法，其中：步骤如下：

(1)将互相粘合在一起的安装部件和待切物置于具有抽负压功能的装置中；

(2)在负压环境下减少安装部件和待切物之间粘胶剂的气泡。

一种用于线切割预备工作减少粘胶气泡的方法，其中：在将互相粘合在一起的安装部件和待切物安装在线切割设备上之前进行预先处理，预先处理的步骤如下：

(1)将互相粘合在一起的安装部件和待切物置于具有抽负压功能的装置中；

(2)调节负压技术参数抽真空；

(3)在负压环境下减少安装部件和待切物之间粘胶剂的气泡。

一种用于线切割预备工作减少粘胶气泡的方法，其中：在将互相粘合在一起的安装部件和待切物安装在线切割设备上之前进行预先处理，预先处理的步骤如下：

(1)在待切物与安装部件之间的接触面处刷胶；

(2)将互相粘合在一起的安装部件和待切物置于具有抽负压功能的装置中；

(3)调节负压技术参数抽真空；

(4)在负压环境下减少安装部件和待切物之间粘胶剂的气泡。

一种用于线切割预备工作减少粘胶气泡的方法，其中：负压技术参数的绝对压力控制在0-1.0×10⁵Pa。

一种用于线切割预备工作减少粘胶气泡的方法，其中：负压技术参数的时间控制为0.1分钟-1小时。

有利于减少线切割过程中气泡对线切割工艺负面影响的方法，其特征在于：待切物是应用于多晶硅、单晶硅、半导体生产领域中的硅块。

一种用于线切割预备工作减少粘胶气泡的方法，其中：待切物的材料可以是硅、锗、砷化镓、磷化铟、III-V族化合物、蓝宝石、碳化硅、玻璃、陶瓷、石英玻璃中的任意一种。

一种用于线切割预备工作减少粘胶气泡的方法，其中：安装部件是由底衬和托盘组成的。

一种用于线切割预备工作减少粘胶气泡的方法，其中：在待切物与安装部件之间的接触面处刷胶的步骤如下：在托盘的一面刷胶，将托盘与底衬粘合在一起，然后在底衬的另一面刷胶，最后将待切物与底衬粘合在一起，此时通过粘胶剂形成一个上层是待切物、中层是底衬、底层是托盘的粘合组件。

一种用于线切割预备工作减少粘胶气泡的方法，其中：底衬是毛玻璃、塑料中的任意一种。

一种用于线切割预备工作减少粘胶气泡的方法，其中：安装部件是由一次性的托盘组成的。

采用本发明的负压技术方案和不采用负压技术方案相比，可以观察到的实验效果如下：

本发明的优点在于：采用负压技术可以减少气泡的存在带来的线切割中出现的掉片现象，也可以减少气泡对线切割中切片质量带来的负面影响。采用负压技术还可以给予待切物施加比较大的压力，因而还可以缩短粘结剂干燥的时间，提高工作效率。

附图说明

附图1是本发明实施例27使用状态的剖视结构示意图。

附图标记：待切物 1、粘胶剂 2、托盘 3、抽气口 4、毛玻璃 5、吸盘6、装置 7。

具体实施方式

实施例1、一种用于线切割预备工作减少粘胶气泡的方法，其中：步骤如下：

(1)将互相粘合在一起的安装部件和待切物置于具有抽负压功能的装置中。

(2)在负压环境下减少安装部件和待切物之间粘胶剂的气泡。

实施例2、一种用于线切割预备工作减少粘胶气泡的方法，其中：在将互相粘合在一起的安装部件和待切物安装在线切割设备上之前进行预先处理，预先处理的步骤如下：

(1)将互相粘合在一起的安装部件和待切物置于具有抽负压功能的装置中；

(2)调节负压技术参数抽真空；

(3)在负压环境下减少安装部件和待切物之间粘胶剂的气泡。

实施例3、一种用于线切割预备工作减少粘胶气泡的方法，其中：在将互相粘合在一起的安装部件和待切物安装在线切割设备上之前进行预先处理，预先处理的步骤如下：

(1)在待切物与安装部件之间的接触面处刷胶；

(2)将互相粘合在一起的安装部件和待切物置于具有抽负压功能的装置中；

(3)调节负压技术参数的绝对压力控制在0×10⁵Pa，负压技术参数的时间控制为0.1分钟。

(4)在负压环境下减少安装部件和待切物之间粘胶剂的气泡。

待切物是应用于多晶硅、单晶硅、半导体生产领域中的硅块。

实施例4、一种用于线切割预备工作减少粘胶气泡的方法，其中：在将互相粘合在一起的安装部件和待切物安装在线切割设备上之前进行预先处理，预先处理的步骤如下：

(1)在待切物与安装部件之间的接触面处刷胶；

(2)将互相粘合在一起的安装部件和待切物置于具有抽负压功能的装置中；

(3)调节负压技术参数的绝对压力控制在0.1×10⁵Pa，负压技术参数的时间控制为0.5分钟。

(4)在负压环境下减少安装部件和待切物之间粘胶剂的气泡。

待切物是应用于多晶硅、单晶硅、半导体生产领域中的硅块。

实施例5、一种用于线切割预备工作减少粘胶气泡的方法，其中：在将互相粘合在一起的安装部件和待切物安装在线切割设备上之前进行预先处理，预先处理的步骤如下：

(1)在待切物与安装部件之间的接触面处刷胶；

(2)将互相粘合在一起的安装部件和待切物置于具有抽负压功能的装置中；

(3)调节负压技术参数的绝对压力控制在0.2×10⁵Pa，负压技术参数的时间控制为1分钟。

(4)在负压环境下减少安装部件和待切物之间粘胶剂的气泡。

待切物是应用于多晶硅生产领域中的硅块。

实施例6、一种用于线切割预备工作减少粘胶气泡的方法，其中：在将互相粘合在一起的安装部件和待切物安装在线切割设备上之前进行预先处理，预先处理的步骤如下：

(1)在待切物与安装部件之间的接触面处刷胶；

(2)将互相粘合在一起的安装部件和待切物置于具有抽负压功能的装置中；

(3)调节负压技术参数的绝对压力控制在0.3×10⁵Pa，负压技术参数的时间控制为5分钟。

(4)在负压环境下减少安装部件和待切物之间粘胶剂的气泡。

待切物是应用于单晶硅生产领域中的硅块。

实施例7、一种用于线切割预备工作减少粘胶气泡的方法，其中：在将互相粘合在一起的安装部件和待切物安装在线切割设备上之前进行预先处理，预先处理的步骤如下：

(1)在待切物与安装部件之间的接触面处刷胶；

(2)将互相粘合在一起的安装部件和待切物置于具有抽负压功能的装置中；

(3)调节负压技术参数的绝对压力控制在0.4×10⁵Pa，负压技术参数的时间控制为10分钟。

(4)在负压环境下减少安装部件和待切物之间粘胶剂的气泡。

待切物是应用于半导体生产领域中的硅块。

实施例8、一种用于线切割预备工作减少粘胶气泡的方法，其中：在将互相粘合在一起的安装部件和待切物安装在线切割设备上之前进行预先处理，预先处理的步骤如下：

(1)在待切物与安装部件之间的接触面处刷胶；

(2)将互相粘合在一起的安装部件和待切物置于具有抽负压功能的装置中；

(3)调节负压技术参数的绝对压力控制在0.5×10⁵Pa，负压技术参数的时间控制为20分钟。

(4)在负压环境下减少安装部件和待切物之间粘胶剂的气泡。

实施例9、一种用于线切割预备工作减少粘胶气泡的方法，其中：在将互相粘合在一起的安装部件和待切物安装在线切割设备上之前进行预先处理，预先处理的步骤如下：

(1)在待切物与安装部件之间的接触面处刷胶；

(2)将互相粘合在一起的安装部件和待切物置于具有抽负压功能的装置中；

(3)调节负压技术参数的绝对压力控制在0.6×10⁵Pa，负压技术参数的时间控制为30分钟。

(4)在负压环境下减少安装部件和待切物之间粘胶剂的气泡。

实施例10、一种用于线切割预备工作减少粘胶气泡的方法，其中：在将互相粘合在一起的安装部件和待切物安装在线切割设备上之前进行预先处理，预先处理的步骤如下：

(1)在待切物与安装部件之间的接触面处刷胶；

(2)将互相粘合在一起的安装部件和待切物置于具有抽负压功能的装置中；

(3)调节负压技术参数的绝对压力控制在0.8×10⁵Pa，负压技术参数的时间控制为40分钟。

(4)在负压环境下减少安装部件和待切物之间粘胶剂的气泡。

实施例11、一种用于线切割预备工作减少粘胶气泡的方法，其中：在将互相粘合在一起的安装部件和待切物安装在线切割设备上之前进行预先处理，预先处理的步骤如下：

(1)在待切物与安装部件之间的接触面处刷胶；

(2)将互相粘合在一起的安装部件和待切物置于具有抽负压功能的装置中；

(3)调节负压技术参数的绝对压力控制在0.9×10⁵Pa，负压技术参数的时间控制为50分钟。

(4)在负压环境下减少安装部件和待切物之间粘胶剂的气泡。

实施例12、一种用于线切割预备工作减少粘胶气泡的方法，其中：在将互相粘合在一起的安装部件和待切物安装在线切割设备上之前进行预先处理，预先处理的步骤如下：

(1)在待切物与安装部件之间的接触面处刷胶；

(2)将互相粘合在一起的安装部件和待切物置于具有抽负压功能的装置中；

(3)调节负压技术参数的绝对压力控制在1.0×10⁵Pa，负压技术参数的时间控制为60分钟。

(4)在负压环境下减少安装部件和待切物之间粘胶剂的气泡。

实施例13、一种用于线切割预备工作减少粘胶气泡的方法，其中：待切物的材料是硅。其余同实施例1-实施例12中的任意实施例。

实施例14、一种用于线切割预备工作减少粘胶气泡的方法，其中：待切物的材料是锗。其余同实施例1-实施例12中的任意实施例。

实施例15、一种用于线切割预备工作减少粘胶气泡的方法，其中：待切物的材料是砷化镓。其余同实施例1-实施例12中的任意实施例。

实施例16、一种用于线切割预备工作减少粘胶气泡的方法，其中：待切物的材料是磷化铟。其余同实施例1-实施例12中的任意实施例。

实施例17、一种用于线切割预备工作减少粘胶气泡的方法，其中：待切物的材料是III-V族化合物。其余同实施例1-实施例12中的任意实施例。

实施例18、一种用于线切割预备工作减少粘胶气泡的方法，其中：待切物的材料是蓝宝石。其余同实施例1-实施例12中的任意实施例。

实施例19、一种用于线切割预备工作减少粘胶气泡的方法，其中：待切物的材料是碳化硅。其余同实施例1-实施例12中的任意实施例。

实施例20、一种用于线切割预备工作减少粘胶气泡的方法，其中：待切物的材料是玻璃。其余同实施例1-实施例12中的任意实施例。

实施例21、一种用于线切割预备工作减少粘胶气泡的方法，其中：待切物的材料是陶瓷。其余同实施例1-实施例12中的任意实施例。

实施例22、一种用于线切割预备工作减少粘胶气泡的方法，其中：待切物的材料是石英玻璃。其余同实施例1-实施例12中的任意实施例。

实施例23、一种用于线切割预备工作减少粘胶气泡的方法，其中：安装部件是由底衬和托盘组成的。其余同实施例1-实施例22中的任意实施例。

实施例24、一种用于线切割预备工作减少粘胶气泡的方法，其中：在待切物与安装部件之间的接触面处刷胶的步骤如下：在托盘的一面刷胶，将托盘与底衬粘合在一起，然后在底衬的另一面刷胶，最后将待切物与底衬粘合在一起，此时通过粘胶剂形成一个上层是待切物、中层是底衬、底层是托盘的粘合组件。其余同实施例1-实施例23中的任意实施例。

实施例25、一种用于线切割预备工作减少粘胶气泡的方法，其中：底衬是毛玻璃、塑料中的任意一种。其余同实施例23、实施例24。

实施例26、一种用于线切割预备工作减少粘胶气泡的方法，其中：在将互相粘合在一起的安装部件和待切物安装在线切割设备上之前进行预先处理，预先处理步骤如下：

(1)在托盘的一面刷胶，将托盘与毛玻璃粘合在一起，然后在毛玻璃的另一面刷胶。

(2)将待切物与毛玻璃粘合在一起，此时通过粘胶剂形成一个上层是待切物、中层是毛玻璃、底层是托盘的粘合组件。

(3)待胶固化前，打开负压装置，将粘合组件送入具有抽负压功能的装置中，密封负压装置，开启抽真空部件，该负压装置的形成一定的负压，负压装置中的压力低于负压装置外的压力，可以将粘结剂中由于刷胶不均匀形成的气泡驱除。

(4)调节负压技术参数的压力控制在0.4×10⁵Pa，负压技术参数的时间控制为10分钟。

(5)将互相粘结在一起的托盘、毛玻璃和待切物从负压环境中取出。

其余同实施例13-实施例22中的任意实施例。

实施例27、一种用于线切割预备工作减少粘胶气泡的方法，其中：安装部件是由一次性的托盘组成的。其余同实施例1-实施例22中的任意实施例。

实施例28、一种用于线切割预备工作减少粘胶气泡的方法，其中：在将互相粘合在一起的安装部件和待切物安装在线切割设备上之前进行预先处理，预先处理步骤如下：

(1)在托盘3的一面刷胶，将托盘3与毛玻璃5粘合在一起，然后在毛玻璃5的另一面刷粘胶剂2。

(2)将待切物1与毛玻璃5粘合在一起，此时通过粘胶剂2形成一个上层是待切物1、中层是毛玻璃5、底层是托盘3的粘合组件。

(3)打开吸盘6，将初步粘结好的待切物1、中层是毛玻璃5、底层是托盘3的粘合组件放入装置7中，盖上吸盘6，关闭其他入口，从抽气口4抽去装置7中的空气，形成装置7的负压环境。

(4)调节负压技术参数的绝对压力控制在0×10⁵Pa，负压技术参数的时间控制为0.1分钟，装置7中的压力低于空腔外的压力，可以将粘结剂层4中由于刷胶不均匀形成的气泡驱除。

吸盘6通常由富有弹性的橡胶材料制，该装置7的空腔中形成一定的负压，空腔中的压力低于空腔外的压力，吸盘6向下接触待切物1的顶面，可以将粘结剂层2中由于刷胶不均匀形成的气泡驱除。

(5)将互相粘结在一起的托盘3、毛玻璃5和待切物1从装置7中取出。

实施例29、一种用于线切割预备工作减少粘胶气泡的方法，其中：待切物是应用于多晶硅、单晶硅、半导体生产领域中的硅块。其余同实施例28。