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电子束蒸发法制备环境友好半导体材料Mg

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摘要

本发明公开了一种电子束蒸发法制备环境友好半导体材料Mg

法律状态公告日

法律状态信息

法律状态
2013-01-02

发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):C23C14/30 申请公布日:20100811 申请日:20100415

发明专利申请公布后的驳回
2010-09-29

实质审查的生效 IPC(主分类):C23C14/30 申请日:20100415

实质审查的生效
2010-08-11

公开

公开

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