法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2012-07-11
发明专利申请公布后的视为撤回 IPC(主分类):H01L29/02 公开日:20110209 申请日:20100918
发明专利申请公布后的视为撤回
2011-03-23
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L29/02 申请日:20100918
实质审查的生效
2011-02-09
公开
公开
机译: 扩散阻挡层的薄膜的制造方法及其生产的扩散阻挡层的薄膜
机译: 扩散阻挡层的薄膜的制造方法及其生产的扩散阻挡层的薄膜
机译: 扩散阻挡层的布线,薄膜晶体管和溅射靶