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基于MEMS技术的激光光源用散斑抑制装置

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本发明涉及激光显示技术领域，具体是一种基于MEMS技术的激光光源用散斑抑制装置。解决了现有散斑消除方法存在的消除散斑效果不佳、实现结构复杂、易损坏、成本高等问题，包括应用MEMS加工工艺在玻璃基底上加工获得的平面光波导分路器，以及置于平面光波导分路器输出波导侧、用以将平面光波导分路器输出光束汇聚的汇聚透镜，所述平面光波导分路器为1×N结构的平面光波导分路器，N≥2，且平面光波导分路器的各输出波导上分别集成有相位调制装置。本发明结构简单，加工工艺成熟，易实现，造价低，集成度高，散斑消除效果好，性能稳定。

著录项

公开/公告号CN102053385A

专利类型发明专利
公开/公告日2011-05-11

原文格式PDF
申请/专利权人中北大学;
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申请/专利号CN201110032242.5
发明设计人陈旭远;石云波;唐国先;刘俊;薛晨阳;唐军;徐美芳;党旭;冯楠;
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申请日2011-01-30
分类号G02B27/48;G02B6/125;G02F1/01;
代理机构山西太原科卫专利事务所;
代理人骆洋
地址 030051 山西省太原市尖草坪区学院路3号
入库时间 2023-12-18 02:21:58

法律信息

法律状态公告日

法律状态信息

法律状态
2014-05-07

发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):G02B27/48 申请公布日:20110511 申请日:20110130

发明专利申请公布后的驳回
2011-06-29

实质审查的生效 IPC(主分类):G02B27/48 申请日:20110130

实质审查的生效
2011-05-11

公开

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