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一种利用直流磁控溅射制备彩色TiN薄膜的方法

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本发明提供一种利用直流磁控溅射技术制备TiN薄膜的方法，包括（1）采用基体材料为高速钢，分别用由粗到细的砂纸打磨，然后抛光，直至表面呈现镜面；（2）将处理后的基体材料浸入乙醇溶液中超声激励10-20分钟，再用丙酮溶液浸浴，用吹风机烘干；（3）然后将基体材料固定在真空沉积室的试样架上进行镀膜，镀膜前背底真空抽至3×10-3Pa，并对表面进行离子轰击清洗3-5min；（4）在不同氮气流量（沉积气压）下镀制不同的TiN薄膜样品。结果表明，氮气流量即沉积气压对装饰镀TiN薄膜的颜色有重要影响，通过调节氮气流量，可有效改变TiN膜层的色泽。本发明的方法可以通过改变氮气流量来获得生产实际中所需要的膜层色泽。

著录项

公开/公告号CN102146556A

专利类型发明专利
公开/公告日2011-08-10

原文格式PDF
申请/专利权人天津师范大学;
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申请/专利号CN201110102624.0
发明设计人黄美东;侯兴刚;李德军;
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申请日2011-04-25
分类号C23C14/35(20060101);C23C14/06(20060101);
代理机构12207 天津市杰盈专利代理有限公司;
代理人朱红星
地址 300387 天津市西青区宾水西道393号
入库时间 2023-12-18 02:56:11

法律信息

法律状态公告日

法律状态信息

法律状态
2013-01-16

发明专利申请公布后的视为撤回 IPC(主分类):C23C14/35 申请公布日:20110810 申请日:20110425

发明专利申请公布后的视为撤回
2011-09-21

实质审查的生效 IPC(主分类):C23C14/35 申请日:20110425

实质审查的生效
2011-08-10

公开

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