首页> 中国专利> 喷淋型气相生长装置及其气相生长方法

喷淋型气相生长装置及其气相生长方法

页面导航

摘要
著录项
法律信息
相似文献

摘要

本发明的喷淋型气相生长装置包括：用于装载和搬送覆盖板(26)的搬送叉(40)；设在与搬送叉(40)相反侧的保持部件(50)，其用于接收和装载保持由搬送叉(40)搬送的覆盖板(26)。在覆盖板(26)的外周上形成有两对以上的搬送叉侧切口(26a、26a)以及保持部件侧切口(26b、26b)，而且在搬送叉(40)以及保持部件(50)上分别设有至少一对与所述切口相对应的定位突起(46、46)以及保持部件突起部(52、52)。由此，易于对搬送对象物的搬送方向以及旋转方向进行限制，以及确立高精度且复杂的搬送对象物搬送方法，从而能够提供搬送信赖性较高的喷淋型气相生长装置及其气相生长方法。

著录项

公开/公告号CN102272898A

专利类型发明专利
公开/公告日2011-12-07

原文格式PDF
申请/专利权人夏普株式会社;
展开▼

申请/专利号CN201080004236.2
发明设计人坪井俊树;
展开▼

申请日2010-01-28
分类号H01L21/205;C23C16/455;
代理机构上海专利商标事务所有限公司;
代理人胡晓萍
地址日本大阪府
入库时间 2023-12-18 04:00:10

法律信息

法律状态公告日

法律状态信息

法律状态
2013-12-04

发明专利申请公布后的视为撤回 IPC(主分类):H01L21/205 申请公布日:20111207 申请日:20100128

发明专利申请公布后的视为撤回
2012-01-25

实质审查的生效 IPC(主分类):H01L21/205 申请日:20100128

实质审查的生效
2011-12-07

公开

公开

相似文献

专利
中文文献
外文文献

1. 喷淋型气相生长装置及其气相生长方法 [P] . 中国专利： CN102272898A . 2011-12-07
2. 气相生长装置、气相生长方法、及半导体元件的制造方法 [P] . 中国专利： CN102656665B . 2015.01.28
3. Vapor phase growth apparatus having shower plate with multi gas flow passages and vapor phase growth method using the same [P] . 美国专利： US9624603B2 . 2017-04-18

机译：具有具有多个气体流路的喷淋板的气相生长装置以及使用该气相生长装置的气相生长方法
4. Shower type vapor phase growth apparatus and vapor growth method [P] . 日本专利： JP4668323B2 . 2011-04-13

机译：喷淋式气相生长装置和气相生长方法
5. Fine vapor-grown carbon fiber manufacturing apparatus, a method of manufacturing a fine vapor-grown carbon fibers, fine vapor-grown carbon fiber adhesion prevention devices and fine vapor grown carbon fibers [P] . 日本专利： JP4177533B2 . 2008-11-05

机译：精细气相生长碳纤维制造设备，精细气相生长碳纤维的制造方法，精细气相生长碳纤维防粘装置和精细气相生长碳纤维