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一种废水排放控制系统以及废水排放系统

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本发明公开了一种废水排放控制系统，包括污水排放管路，此外，还包括工艺水排放管路以及控制单元，所述控制单元根据系统控制信号分别控制污水排放管路和工艺水排放管路的开启和关闭。这种废水排放系统让化学机械抛光设备废水得到合理排放，不仅降低了废水处理系统的工作压力，还能对工艺水进行回收，降低了系统运行成本的同时节省了资源。本发明还提供一种废水排放系统。

著录项

公开/公告号CN102464359A

专利类型发明专利
公开/公告日2012-05-23

原文格式PDF
申请/专利权人无锡华润上华半导体有限公司;无锡华润上华科技有限公司;
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申请/专利号CN201010531006.3
发明设计人袁晓君;
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申请日2010-11-03
分类号C02F1/00;
代理机构广州华进联合专利商标代理有限公司;
代理人何平
地址 214028 江苏省无锡市国家高新技术产业开发区汉江路5号
入库时间 2023-12-18 05:04:15

法律信息

法律状态公告日

法律状态信息

法律状态
2014-08-13

发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):C02F1/00 申请公布日:20120523 申请日:20101103

发明专利申请公布后的驳回
2012-07-04

实质审查的生效 IPC(主分类):C02F1/00 申请日:20101103

实质审查的生效
2012-05-23

公开

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