法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2014-12-31
发明专利申请公布后的视为撤回 IPC(主分类):H01L29/51 申请公布日:20120516 申请日:20100528
发明专利申请公布后的视为撤回
2012-06-27
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L29/51 申请日:20100528
实质审查的生效
2012-05-16
公开
公开
机译: 用于高分辨率焦平面太赫兹成像阵列的微型相位校正天线
机译: 微型相位校正天线,用于高分辨率焦平面太赫兹成像阵列
机译: 微型相位校正天线,用于高分辨率焦平面太赫兹成像阵列