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表面发射激光器元件、表面发射激光器阵列、光学扫描设备、成像设备和制造表面发射激光器元件的方法

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制造表面发射激光器元件的方法，该表面发射激光器元件包括具有发射区域的发光台地结构，该台地结构包括具有高反射率部分和低反射率部分的发射区域，所述方法包括：在衬底上形成包括下部反射镜、腔结构和上部反射镜的层叠体；在层叠体的上表面上形成与第一区域相同尺寸的第二区域；通过蚀刻第一区域和第二区域分别形成发光台地结构和监视台地结构；在发光台地结构和监视台地结构中形成包括由氧化物围绕的电流通过区域的限制结构；以及测量监视台地结构的电流通过区域的尺寸。

著录项

公开/公告号CN102460865A

专利类型发明专利
公开/公告日2012-05-16

原文格式PDF
申请/专利权人株式会社理光;
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申请/专利号CN201080028814.6
发明设计人东康弘;原坂和宏;
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申请日2010-05-26
分类号H01S5/183;
代理机构北京市柳沈律师事务所;
代理人王冉
地址日本东京都
入库时间 2023-12-18 05:21:27

法律信息

法律状态公告日

法律状态信息

法律状态
2015-03-11

发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):H01S5/183 申请公布日:20120516 申请日:20100526

发明专利申请公布后的驳回
2012-06-27

实质审查的生效 IPC(主分类):H01S5/183 申请日:20100526

实质审查的生效
2012-05-16

公开

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机译：表面发射激光器元件，表面发射激光器阵列，光学扫描设备，图像形成设备以及制造表面发射激光器元件的方法