法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2014-04-23
发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):C02F1/32 申请公布日:20120801 申请日:20120331
发明专利申请公布后的驳回
2012-09-26
实质审查的生效 IPC(主分类):C02F1/32 申请日:20120331
实质审查的生效
2012-08-01
公开
公开
机译: 紫外光和臭氧强迫氧化处理装置
机译: 紫外光和臭氧强迫氧化处理装置
机译: 臭氧供水系统和硅片湿式氧化处理系统