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一种基于二维声子晶体反射栅的声表面波气体传感器

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摘要

本发明提供了一种基于二维声子晶体反射栅的声表面波气体传感器，该传感器属于声表面波技术领域的一种新型气体传感器结构。这种基于二维声子晶体反射栅的声表面波气体传感器采用单端谐振器结构，以气敏半导体金属氧化物与空气柱构成的二维声子晶体作为谐振器两端的反射栅，其声子晶体反射栅兼具气敏和反射双重功能，而且二维空气柱声子晶体气体传感器结构具有表面积大、灵敏度高等特点；此外二维声子晶体反射栅相比传统的一维金属条反射栅，不仅反射效率更高，同时也减小了反射栅的尺寸，非常有利于获得高集成度的声表面波气体传感器件。

著录项

  • 公开/公告号CN102841138A

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2012-12-26

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 新疆求是信息科技有限公司;

    申请/专利号CN201110172815.4

  • 发明设计人 刘勇;莫家庆;

    申请日2011-06-24

  • 分类号G01N29/024(20060101);

  • 代理机构

  • 代理人

  • 地址 830000 新疆维吾尔自治区乌鲁木齐市碱泉街16号白云尚都4-1-1803

  • 入库时间 2023-12-18 07:51:02

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2015-06-03

    发明专利申请公布后的视为撤回 IPC(主分类):G01N29/024 申请公布日:20121226 申请日:20110624

    发明专利申请公布后的视为撤回

  • 2015-01-07

    文件的公告送达 IPC(主分类):G01N29/024 收件人:新疆求是信息科技有限公司 文件名称:视为撤回通知书 申请日:20110624

    文件的公告送达

  • 2014-07-16

    文件的公告送达 IPC(主分类):G01N29/024 收件人:新疆求是信息科技有限公司 文件名称:实审请求期限届满前通知书 申请日:20110624

    文件的公告送达

  • 2012-12-26

    公开

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