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抗偏振混叠的单路圆偏振干涉和单渥拉斯特棱镜分光式零差激光测振仪

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抗偏振混叠的单路圆偏振干涉和单渥拉斯特棱镜分光式零差激光测振仪属于激光干涉测量领域；干涉部分通过两个四分之一波片和消偏振分光镜NBS产生单路偏振方向正交、光路重合的圆偏振参考光和圆偏振测量光，探测部分参考光和测量光分光后经同一个渥拉斯特棱镜产生四路相位相差90°的光电信号，从而从光路结构与原理上获得抑制非线性误差的突出特性；本发明可实现四通道零差正交激光干涉测量，可有效解决现有技术方案中光路存在偏振泄露与偏振混叠，输出信号存在直流偏置误差与非正交误差，测量结果非线性误差显著等问题，在超精密振动测量领域具有显著的技术优势。

著录项

公开/公告号CN104913838A

专利类型发明专利
公开/公告日2015-09-16

原文格式PDF
申请/专利权人哈尔滨工业大学;
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申请/专利号CN201510340554.0
发明设计人崔俊宁;何张强;谭久彬;
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申请日2015-06-12
分类号G01H9/00(20060101);
代理机构
代理人
地址 150001 黑龙江省哈尔滨市南岗区西大直街92号
入库时间 2023-12-18 10:50:22

法律信息

法律状态公告日

法律状态信息

法律状态
2016-06-08

授权

授权
2015-10-14

实质审查的生效 IPC(主分类):G01H9/00 申请日:20150612

实质审查的生效
2015-09-16

公开

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1. 抗偏振混叠的单路圆偏振干涉和单渥拉斯特棱镜分光式零差激光测振仪 [P] . 中国专利： CN104913838A . 2015-09-16
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