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用于运送化学前体的蒸发源以及使用所述蒸发源的用于运送所述化学前体的蒸发方法

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摘要

本发明涉及一种用于将化学前体运送到所述前体通过凝结而沉积在其上的基质的蒸发源，所述蒸发源由包含前体和加热部件(8)的主管(1)形成。主管(1)的上部部分设置有用于载气的进口(5)和出口(6)，所述进口和出口彼此相对地位于主管(1)的侧表面(7)，并沿横向延伸穿过主管(1)的侧表面(7)的公共线对齐。本发明还涉及一种用于运送化学前体的蒸发方法，在所述蒸发方法中，载气以对齐的方式并横向于主管的侧表面(7)地引入到主管并从主管(1)抽取。

著录项

公开/公告号CN104919079A

专利类型发明专利
公开/公告日2015-09-16

原文格式PDF
申请/专利权人阿文戈亚太阳能新技术股份有限公司;
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申请/专利号CN201380068205.7
发明设计人 D·桑乔·马丁内兹;J·M·德尔加多·桑切斯;J·A·马奎斯·普列托;E·桑切斯·科尔特宗;
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申请日2013-12-19
分类号
代理机构中国国际贸易促进委员会专利商标事务所;
代理人柳爱国
地址西班牙塞维利亚
入库时间 2023-12-18 11:00:03

法律信息

法律状态公告日

法律状态信息

法律状态
2017-08-18

发明专利申请公布后的视为撤回 IPC(主分类):C23C14/22 申请公布日:20150916 申请日:20131219

发明专利申请公布后的视为撤回
2015-12-30

实质审查的生效 IPC(主分类):C23C14/22 申请日:20131219

实质审查的生效
2015-09-16

公开

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