TFT-LCD彩膜玻璃基板的检测和修复方法及其系统

技术领域

本发明涉及TFT-LCD彩膜玻璃基板加工工艺的技术领域，具体是 涉及一种TFT-LCD彩膜玻璃基板的检测和修复方法及其系统。

背景技术

目前在TFT-LCD的彩膜工厂中，会安排做完PS(PostSpacer， TFT-LCDpanel内部支撑液晶盒后的隔垫物，彩膜的最后一道Photo工 序)之后有黑缺陷的基板(PR胶残留或者存在异物)到RepairLine进 行修复，而在PS工艺后的检测和修复工序则需要人工手动操作修复设 备研磨修复黑缺陷，以及根据制定的不良判定标准人工对各类微观缺陷 进行OK&NG的判定。

现有技术中对彩膜玻璃基板的检测和修复过程如下：

1、首先AOI(AutomaticOpticInspection的全称是自动光学检测) 将检查到的缺陷信息(包括各缺陷的在玻璃基板的缺陷位置以及缺陷的 大小)传输到Repair设备的软件系统；

2、每张玻璃基板进入Repair后，Repair将读取该基板对应的信息， 反馈到对应的操作电脑界面；

3、根据反馈的信息，操作人员每人管理1～2台Repair设备，手动 对黑缺陷逐一进行研磨，同时对研磨过后的黑缺陷以及白缺陷根据制定 的缺陷判定标准进行人工判定。

现有技术存在的问题：

1、人工手动操作Repair设备研磨修复黑缺陷，以及缺陷的判定需 要消耗大量的人力；

2、人为的操作研磨修复及判定过程存在风险性、滞后性以及准确 性的问题；

3、过多的人员进入生产线，增加带入的灰尘等，不利于生产产品 品质的保障。

发明内容

本发明实施例提供一种TFT-LCD彩膜玻璃基板的检测和修复方法 及其系统，以解决现有技术中人工检测和修复存在的人力成本大以及效 率及准确性低的技术问题。

为解决上述问题，本发明实施例提供了一种TFT-LCD彩膜玻璃基 板的检测和修复方法，所述方法包括：

在修复设备中输入产品的无缺陷信息以及对应每种缺陷的修复说 明和修复程序；

对彩膜玻璃基板进行检测，并将检测到存在缺陷的彩膜玻璃基板与 所述修复设备中的产品的无缺陷信息进行对比，以得出缺陷的位置及面 积信息；

根据所述缺陷的位置及面积信息并结合所述修复说明和修复程序 执行修复操作。

根据本发明一优选实施例，所述产品的无缺陷信息包括彩膜玻璃基 板的无缺陷隔垫物点位完整坐标体系及扫描图片。

根据本发明一优选实施例，所述对彩膜玻璃基板进行检测的步骤中 的检测设备为自动光学检测仪，所述修复设备为自动研磨机。

根据本发明一优选实施例，所述方法在所述步骤根据所述缺陷的位 置及面积信息并结合所述缺陷的修复说明和修复程序执行修复操作之 后还包括：

对修复完成的彩膜玻璃基板进行再次判定，如果判定为合格，则结 束判定及修复过程；如果判定结果为不合格，则重复执行修复操作的步 骤。

根据本发明一优选实施例，所述修复设备的修复及判定的过程在其 对应的显示器界面进行显示，以便于监测所述修复设备是否处于正常的 工作状态。

根据本发明一优选实施例，所述方法还包括：将所述判定结果的信 息保存在所述修复设备的系统文件中，便于在保存的系统文件中定期检 查所述修复设备的判定是否有异常。

为解决上述技术问题，本发明还提供一种TFT-LCD彩膜玻璃基板 的检测和修复系统，所述系统包括：修复设备和检测设备；其中，所述 修复设备进一步包括接收模块和修复模块，所述接收模块用于接收产品 的无缺陷信息以及对应每种缺陷的修复说明和修复程序；所述检测设备 用于对彩膜玻璃基板进行检测，并将检测到存在缺陷的彩膜玻璃基板与 所述修复设备中的产品的无缺陷信息进行对比，以得出缺陷的位置及面 积信息；所述修复模块根据所述缺陷的位置及面积信息并结合所述修复 说明和修复程序执行修复操作。

根据本发明一优选实施例，所述修复设备为自动研磨机；所述检测 设备为自动光学检测仪。

根据本发明一优选实施例，所述修复设备还包括判定模块，所述判 定模块用于对修复完成的彩膜玻璃基板进行再次判定，如果判定为合 格，则结束判定及修复过程；如果判定结果为不合格，则修复模块重复 执行修复操作。

根据本发明一优选实施例，所述修复设备进一步包括显示模块和存 储模块，所述显示模块用于显示修复设备的修复及判定的过程，所述存 储模块用于存储所述判定模块的判定结果信息，便于在所述存储模块中 定期检查所述修复设备的判定是否有异常。

相对于现有技术，本发明提供的彩膜玻璃基板的检测和修复方法及 其系统，通过将产品的无缺陷信息以及对应每种缺陷的修复说明和修复 程序输入进修复设备中，修复设备可以自行对彩膜玻璃基板进行检测和 修复，相较于传统的通过人工进行检测判定、研磨修复的方法来讲，大 大降低了人力成本，同时也克服了人工操作所带来的准确性、效率以及 安全性低的问题，本发明提供的彩膜玻璃基板的检测和修复方法，可以 提高产品的质量和生产效率，保障产品的质量稳定性。另外，还利用显 示装置对整个检测判定以及修复步骤进行全程显示，以便更好地控制和 管理修复设备的工作流程。

附图说明

为了更清楚地说明本发明实施例中的技术方案，下面将对实施例描 述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图 仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出 创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1是本发明TFT-LCD彩膜玻璃基板的检测和修复方法一优选实 施例的流程示意图；

图2是一种彩膜玻璃基板的部分PS点位分布示意图；

图3a是彩膜玻璃基板黑缺陷的示意图；

图3b是彩膜玻璃基板白缺陷的示意图；

图4是彩膜玻璃基板无缺陷PS点位分布信息图；

图5是彩膜玻璃基板缺陷坐标位置信息图；以及

图6是本发明TFT-LCD彩膜玻璃基板的检测和修复系统一优选实 施例的组成结构简图。

具体实施方式

下面结合附图和实施例，对本发明作进一步的详细描述。特别指 出的是，以下实施例仅用于说明本发明，但不对本发明的范围进行限 定。同样的，以下实施例仅为本发明的部分实施例而非全部实施例， 本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其它 实施例，都属于本发明保护的范围。

请参阅图1，图1为本发明TFT-LCD彩膜玻璃基板的检测和修复方 法一优选实施例的流程示意图，该方法包括但不限于以下步骤。

步骤S100，在修复设备中输入产品的无缺陷信息以及对应每种缺陷 的修复说明和修复程序。

本发明中所指的修复设备优选为自动研磨机，彩膜玻璃基板为 TFT-LCD彩膜玻璃基板。产品的无缺陷信息则包括彩膜玻璃基板的无缺 陷PS点位完整坐标体系及扫描图片等作为修复设备执行检测和修复时 的对比参照信息。缺陷的修复说明和修复程序通常根据缺陷的高度及大 小两数值来确定。

请参阅图2，图2为一种彩膜玻璃基板的部分PS(PostSpacer， TFT-LCDpanel内部支撑液晶盒后的隔垫物，彩膜的最后一道Photo工 序)点位分布示意图，该图中包括了彩膜玻璃基板主PS点分布(1-1) 和彩膜玻璃基板副PS点分布(1-2)两种PS点分布的情况，还包括在 彩膜玻璃基板横向和纵向呈周期性的分布PS点的情况，如图中1-3所 表示的PS点周期分布所示。该图中所表示的在彩膜玻璃基板主PS点分 布(1-1)中，PS点的横向反复周期为1/15，即每15个PS点重现一次 较大或者较小的PS点(在该图中为较小的PS点)，反复周期间距为 708.75um；在彩膜玻璃基板副PS点分布(1-2)中表示均匀分布的同样 大小的PS点；1-3表示PS点纵向周期分布的情况，其中，反复周期为 1/6，反复周期间距为850.5um。

需要说明的是，彩膜玻璃基板常见的缺陷一般包括黑缺陷和白缺陷 两种，请参阅图3a和图3b，两幅图分别给出了彩膜玻璃基板两种常见 缺陷的示意图。本发明涉及在彩膜玻璃基板进行PS工艺后的修复设备 设备上对黑缺陷进行检测、判断并研磨修复的过程，而白缺陷则可直接 进行判定(白缺陷的Ink修复一般在PS线之前)，所以本发明不涉及对 彩膜玻璃基板上的白缺陷进行处理的过程。

步骤S200，对彩膜玻璃基板进行检测，并将检测到存在缺陷的彩膜 玻璃基板与修复设备中的产品的无缺陷信息进行对比，以得出缺陷的位 置及面积信息。

在该步骤中，对彩膜玻璃基板进行检测的检测设备优选为自动光学 检测仪(AutomaticOpticInspection的全称是自动光学检测仪)。修复设 备根据AOI提供的需修复的黑缺陷数据信息(包括坐标点和面积大小)， 确定需要修复的缺陷坐标位置，同时将缺陷坐标位置与PS点位分布信 息进行比对，请一并参阅图4和图5，图4是彩膜玻璃基板无缺陷PS点 位分布信息图，图5是彩膜玻璃基板缺陷坐标位置信息图。图中3-1表 示为PS点，3-2和3-4表示为黑缺陷，3-3表示为白缺陷。在将缺陷坐 标位置信息图与无缺陷PS点位分布信息图对比之后，以避免误将PS点 当黑缺陷进行研磨修复。当黑缺陷与PS太近时如图5中的3-4所示，可 根据实际情况(如PS点挡住了研磨头的下降研磨动作时)可以将相邻 的PS点研磨掉。

步骤S300，根据缺陷的位置及面积信息并结合修复说明和修复程序 执行修复操作。

修复操作具体步骤可以为：从待修复的彩膜玻璃基板的一角往横向 或纵向进行移动，对需研磨修复的缺陷进行逐一判定并修复。

优选地，该彩膜玻璃基板的检测和修复方法在步骤根据缺陷的位置 及面积信息并结合缺陷的修复说明和修复程序执行修复操作之后还包 括步骤S400，对修复完成的彩膜玻璃基板进行再次判定。

如果判定为合格，则进入步骤S600，结束判定及修复过程；如果判 定结果为不合格，则返回步骤S300，重复执行修复操作的步骤。

在步骤S400，对修复完成的彩膜玻璃基板进行再次判定之后，进一 步包括步骤S500，将判定结果的信息保存在修复设备的系统文件中，便 于在保存的系统文件中定期检查修复设备的判定是否有异常。

优选地，本实施例中修复设备的整个修复及判定的过程都在其对应 的显示器界面进行显示，以便于监测修复设备是否处于正常的工作状 态。显示器可以为外设的电脑，或者修复设备自身带有的显示装置，在 本领域技术人员的理解范围内，此处不再赘述。

另外，本发明实施例还提供一种TFT-LCD彩膜玻璃基板的检测和 修复系统，请参阅图6，图6是本发明TFT-LCD彩膜玻璃基板的检测和 修复系统一优选实施例的组成结构简图。该系统包括但不限于以下设 备：修复设备610和检测设备620。

具体而言，修复设备610进一步包括接收模块611、修复模块612、 判定模块613、显示模块614以及存储模块615。

接收模块611用于接收产品的无缺陷信息以及对应每种缺陷的修复 说明和修复程序。检测设备620用于对彩膜玻璃基板进行检测，并将检 测到存在缺陷的彩膜玻璃基板与修复设备610中的产品的无缺陷信息进 行对比，以得出缺陷的位置及面积信息；修复模块612根据缺陷的位置 及面积信息并结合修复说明和修复程序执行修复操作；判定模块613用 于对修复完成的彩膜玻璃基板进行再次判定，如果判定为合格，则结束 判定及修复过程；如果判定结果为不合格，则修复模块612重复执行修 复操作；显示模块614用于显示修复设备的修复及判定的过程；存储模 块615用于存储判定模块613的判定结果信息，便于在存储模块615中 定期检查修复设备的判定是否有异常。

其中，修复设备610优选为自动研磨机；检测设备620优选为自动 光学检测仪。而关于修复设备610中各功能模块以及检测设备620具体 的工作过程，请参阅上述TFT-LCD彩膜玻璃基板的检测和修复方法实 施例中的相关描述，此处亦不再赘述。

相对于现有技术，本发明提供的彩膜玻璃基板的检测和修复方法及 其系统，通过将产品的无缺陷信息以及对应每种缺陷的修复说明和修复 程序输入进修复设备中，修复设备可以自行对彩膜玻璃基板进行检测和 修复，相较于传统的通过人工进行检测判定、研磨修复的方法来讲，大 大降低了人力成本，同时也克服了人工操作所带来的准确性、效率以及 安全性低的问题，本发明提供的彩膜玻璃基板的检测和修复方法，可以 提高产品的质量和生产效率，保障产品的质量稳定性。另外，还利用显 示装置对整个检测判定以及修复步骤进行全程显示，以便更好地控制和 管理修复设备的工作流程。

以上所述仅为本发明的一种实施例，并非因此限制本发明的保护范 围，凡是利用本发明说明书及附图内容所作的等效装置或等效流程变 换，或直接或间接运用在其他相关的技术领域，均同理包括在本发明的 专利保护范围内。