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电容式换能器及其制造方法以及对象信息获取装置

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摘要

提供了一种其密封可靠性得到改进的电容式换能器。该电容式换能器包括单元和密封部分。单元包括第一电极和振动膜，振动膜具有第二电极，第二电极被形成为通过腔体与第一电极相对。形成蚀刻开口部分以通过牺牲层蚀刻来形成腔体。密封部分密封蚀刻开口部分。密封部分的周边处的间隙的高度小于腔体的高度。在其制造方法中，在形成用于形成腔体以及经由蚀刻流动路径连通到腔体的间隙的牺牲层的步骤中，牺牲层的在将变为间隙的区域中的高度被设置为小于牺牲层的在将变为腔体的区域中的高度。

著录项

公开/公告号CN105264369A

专利类型发明专利
公开/公告日2016-01-20

原文格式PDF
申请/专利权人佳能株式会社;
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申请/专利号CN201480031643.0
发明设计人长谷川义大;富吉俊夫;
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申请日2014-05-29
分类号G01N29/24;A61B5/00;B06B1/02;H01G5/16;H04R19/00;
代理机构中国国际贸易促进委员会专利商标事务所;
代理人周博俊
地址日本东京
入库时间 2023-12-18 13:43:06

法律信息

法律状态公告日

法律状态信息

法律状态
2019-01-11

发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):G01N29/24 申请公布日:20160120 申请日:20140529

发明专利申请公布后的驳回
2016-02-17

实质审查的生效 IPC(主分类):G01N29/24 申请日:20140529

实质审查的生效
2016-01-20

公开

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1. 电容式换能器及其制造方法以及对象信息获取装置 [P] . 中国专利： CN105264369A . 2016-01-20
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5. Capacitive transducer, capacitive transducer manufacturing method, and object information acquisition apparatus [P] . 欧洲知识产权局专利： EP2682196A1 . 2014-01-08

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