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一种面阵与线阵CCD相机组合的多角度扫描探头

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本发明提供一种面阵与线阵CCD相机组合的多角度扫描探头，包括基座、设置在基座上的线光源、和用于对线光源发出的光束进行导光的光纤，其特征在于：固定在所述基座上的还设有面阵CCD相机和线阵CCD相机，分别触发面阵CCD相机和线阵CCD相机动作的设有第一触发器和第二触发器，所述线光源与面阵CCD相机之间形成第一光路，所述线光源与线阵CCD相机之间形成第二光路，所述面阵CCD相机、线阵CCD相机和线光源三者之间实时共焦。本发明通过优化设计结构，在一台扫描探头上组合安装面阵CCD相机和线阵CCD相机，两相机共用一个线光源，能够同时兼顾大尺度缺陷的扫描速度和小尺度缺陷的局部分辨率的检测要求，以此来提升用户产线的产品检测效率和良率，降低检测设备采购的成本。

著录项

公开/公告号CN105259188A

专利类型发明专利
公开/公告日2016-01-20

原文格式PDF
申请/专利权人宜兴爱特盟光电科技有限公司;
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申请/专利号CN201510718477.8
发明设计人谢历铭;
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申请日2015-10-29
分类号G01N21/956;
代理机构苏州慧通知识产权代理事务所(普通合伙);
代理人黄建月
地址 214200 江苏省无锡市宜兴市经济开发区锦城大道11号D10栋
入库时间 2023-12-18 13:47:49

法律信息

法律状态公告日

法律状态信息

法律状态
2018-06-01

发明专利申请公布后的视为撤回 IPC(主分类):G01N21/956 申请公布日:20160120 申请日:20151029

发明专利申请公布后的视为撤回
2016-09-07

专利申请权的转移 IPC(主分类):G01N21/956 登记生效日:20160817 变更前: 变更后: 申请日:20151029

专利申请权、专利权的转移
2016-02-17

实质审查的生效 IPC(主分类):G01N21/956 申请日:20151029

实质审查的生效
2016-01-20

公开

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