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一种基于MEMS线加速度计的角加速度测量装置

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本发明提供了一种基于MEMS线加速度计的角加速度测量装置，包括两块MEMS线加速度芯片和传感器圆盘，所述的传感器圆盘的圆心与转轴固连；两块MEMS线加速度芯片分别安装在传感器圆盘的边沿和圆心上，两块MEMS线加速度芯片的线加速度感应方向相互平行，并与传感器圆盘的半径方向垂直；当传感器圆盘随着转轴旋转时，将两块MEMS线加速度芯片输出的线加速度信号做差，就得到传感器圆盘的圆周旋转线加速度，再除以传感器圆盘的半径，就得到最终的旋转角加速度。本发明使角加速度传感器结构简单，可靠性高，并且在拥有较高的精度的同时，大大降低角加速度传感器成本。

著录项

公开/公告号CN105259370A

专利类型发明专利
公开/公告日2016-01-20

原文格式PDF
申请/专利权人西北工业大学;
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申请/专利号CN201510736376.3
发明设计人齐蓉;张云飞;林辉;李兵强;杨渭滨;
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申请日2015-11-02
分类号G01P15/08;
代理机构西北工业大学专利中心;
代理人顾潮琪
地址 710072 陕西省西安市友谊西路127号
入库时间 2023-12-18 13:47:49

法律信息

法律状态公告日

法律状态信息

法律状态
2018-08-14

发明专利申请公布后的视为撤回 IPC(主分类):G01P15/08 申请公布日:20160120 申请日:20151102

发明专利申请公布后的视为撤回
2016-02-17

实质审查的生效 IPC(主分类):G01P15/08 申请日:20151102

实质审查的生效
2016-01-20

公开

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