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基于微偏振片阵列的动态点衍射干涉仪

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本发明公开了一种基于微偏振片阵列的动态点衍射干涉仪，包括激光器、位于激光器出射光束光路上的扩束准直系统、起偏器、第一四分之一波片和聚焦透镜；还包括衍射针孔位于聚焦透镜焦点处的衍射模板、衍射光路中的第二四分之一波片、被测件、成像透镜、微偏振片阵列和感光元件。由衍射模板的小孔中衍射的一部分光经第二四分之一波片到达被测件，由被测件反射的光再次经过第二四分之一波片后被衍射模板反射，经成像透镜和微偏振片阵列被感光元件接收；由衍射模板的小孔中衍射的另一部分光直接经成像透镜和微偏振片阵列被感光元件接收。本发明一次曝光即可获得四幅相移图像，达到实时检测的效果；简化了产生相移的装置，抗振要求降低。

著录项

公开/公告号CN105300272A

专利类型发明专利
公开/公告日2016-02-03

原文格式PDF
申请/专利权人中国科学院上海光学精密机械研究所;
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申请/专利号CN201510710511.7
发明设计人张志刚;刘世杰;周游;白云波;王微微;马啸;
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申请日2015-10-27
分类号G01B9/02(20060101);G01B11/24(20060101);
代理机构31213 上海新天专利代理有限公司;
代理人张泽纯;张宁展
地址 201800 上海市800-211邮政信箱
入库时间 2023-12-18 14:06:56

法律信息

法律状态公告日

法律状态信息

法律状态
2018-09-21

发明专利申请公布后的视为撤回 IPC(主分类):G01B9/02 申请公布日:20160203 申请日:20151027

发明专利申请公布后的视为撤回
2016-03-02

实质审查的生效 IPC(主分类):G01B9/02 申请日:20151027

实质审查的生效
2016-02-03

公开

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