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位置检测设备、包括位置检测设备的设备和位置检测方法

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摘要

本发明涉及一种位置检测设备、包括位置检测设备的设备和位置检测方法。该位置检测设备包括连同具有周期图案的光学标尺(101)一起使用的第一光学位置检测器(103)。该第一光学位置检测器在伴随着可动构件(102)的移动而与光学标尺相对移动的情况下，接收来自周期图案的光，以生成分别按与周期图案的周期相对应的周期发生变化的第一检测信号。第二非光学位置检测器(108)生成伴随着可动构件的移动而发生变化的第二检测信号。计算器(106)通过使用第一检测信号来产生第一位置信号，通过使用第二检测信号来产生分辨率与第一位置信号的分辨率不同的第二位置信号，并且进行用于将第一位置信号和第二位置信号组合的计算以产生绝对位置信号。

著录项

公开/公告号CN105937917A

专利类型发明专利
公开/公告日2016-09-14

原文格式PDF
申请/专利权人佳能株式会社;
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申请/专利号CN201610122228.7
发明设计人本田公文;石川大介;友定俊彦;
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申请日2016-03-03
分类号G01D5/245;
代理机构北京魏启学律师事务所;
代理人魏启学
地址日本东京都大田区下丸子3丁目30番2号
入库时间 2023-06-19 00:30:14

法律信息

法律状态公告日

法律状态信息

法律状态
2020-04-03

发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):G01D5/245 申请公布日:20160914 申请日:20160303

发明专利申请公布后的驳回
2017-04-05

实质审查的生效 IPC(主分类):G01D5/245 申请日:20160303

实质审查的生效
2016-09-14

公开

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