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一种基于聚甲基苯基硅烷/聚甲基丙烯酸苄酯共聚物光波导的微反射镜制作方法

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本发明涉及一种基于聚甲基苯基硅烷/聚甲基丙烯基苄酯共聚物光波导的微反射镜的制作方法，其先在基板表面镀上铜膜，然后在铜膜表面形成SU‑8胶下包层，在SU‑8胶下包层上形成聚甲基苯基硅烷‑聚甲基丙烯基苄酯层后，经紫外曝光形成光波导芯层结构，再在芯层上形成SU‑8胶上包层，使用90度V形倒角的金刚石砂轮刀片沿垂直于光波导的方向切割，在光波导的端面形成45°微反射镜结构，最后通过腐蚀液将微反射镜下的铜膜腐蚀后，得到剥离下的微反射镜；整个工艺过程简单、可控，制得的微反射镜具有较低的反射损耗。

著录项

公开/公告号CN105974744A

专利类型发明专利
公开/公告日2016-09-28

原文格式PDF
申请/专利权人淮阴工学院;
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申请/专利号CN201610351208.7
发明设计人何磊;黄秋月;朱秀芳;
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申请日2016-05-25
分类号G03F7/20(20060101);G03F7/38(20060101);G03F7/40(20060101);G03F7/42(20060101);
代理机构
代理人
地址 223003 江苏省淮安市高教园区枚乘东路1号
入库时间 2023-06-19 00:32:58

法律信息

法律状态公告日

法律状态信息

法律状态
2019-04-16

实质审查的生效 IPC(主分类):G03F7/20 申请日:20160525

实质审查的生效
2016-09-28

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