公开/公告号CN106066908A
专利类型发明专利
公开/公告日2016-11-02
原文格式PDF
申请/专利权人 哈尔滨工业大学(威海);
申请/专利号CN201610367552.5
申请日2016-05-27
分类号G06F17/50;
代理机构威海科星专利事务所;
代理人丁宏斌
地址 264209 山东省威海市文化西路2号
入库时间 2023-06-19 00:43:59
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2016-11-30
实质审查的生效 IPC(主分类):G06F17/50 申请日:20160527
实质审查的生效
2016-11-02
公开
公开
机译: 一种基于二次谐波的表征和驱动方法,该方法提高了品质因数并降低了间隙电子静电MEMS谐振器的馈通电流
机译: 一种基于二次谐波的表征和驱动方法,该方法提高了品质因数并降低了间隙电子静电MEMS谐振器的馈通电流
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