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用于垂直磁各向异性材料的具有均匀晶体织构的平滑晶种层

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摘要

一种用于制造垂直磁性隧道结(pMTJ)器件的方法包括在该pMTJ器件的第一电极上生长晶种层。该晶种层具有沿生长轴的均匀预定晶向。该方法还包括平坦化晶种层同时维持晶种层的均匀预定晶向。

法律状态公告日

法律状态信息

法律状态
2020-01-10

发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):H01L43/12 申请公布日:20161221 申请日:20150327

发明专利申请公布后的驳回
2017-01-18

实质审查的生效 IPC(主分类):H01L43/12 申请日:20150327

实质审查的生效
2016-12-21

公开

公开

1. 用于垂直磁各向异性材料的具有均匀晶体织构的平滑晶种层 [P] . 中国专利： CN106256028A . 2016-12-21
2. 用于增强垂直磁各向异性的具有双MgO界面和CoFeB层的垂直自旋转移矩(STT)储存元件 [P] . 中国专利： CN105990517A . 2016-10-05
3. Smooth seed layer with uniform crystalline texture for high perpendicular magnetic anisotropic materials [P] . 日本专利： JP2017516303A . 2017-06-15

机译：光滑的晶种层，具有均匀的晶体织构，适用于高垂直磁各向异性材料
4. Smooth seed layers with uniform crystalline texture for high perpendicular magnetic anisotropy materials [P] . 美国专利： US9385309B2 . 2016-07-05

机译：光滑的晶种层，具有均匀的晶体织构，适用于高垂直磁各向异性材料
5. Method of fabricating smooth seed layers with uniform crystalline texture for high perpendicular magnetic anisotropy materials [P] . 美国专利： US9595666B2 . 2017-03-14

机译：用于高垂直磁各向异性材料的具有均匀晶体织构的光滑籽晶层的制造方法