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一种共蒸发制备无机非铅卤化物钙钛矿薄膜的方法

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本发明公开一种共蒸发制备无机非铅卤化物钙钛矿薄膜的方法，包括：（1）对衬底材料进行超声清洗，氮气吹干备用；（2）将衬底材料放入共蒸发设备样品架上，对真空腔室内抽真空，至腔室的真空度小于5×10‑4Pa时，加热并旋转衬底材料，保持其温度；（3）调节CsX蒸发源和SnX2蒸发源的温度，使二者共同对衬底材料的蒸发速率进行控制；（4）待蒸发源的温度达到设定值且蒸发速率稳定后进行无机非铅卤化物钙钛矿薄膜的双源共蒸发沉积，冷却至室温，得到无机非铅卤化物钙钛矿薄膜。本发明制备的无机非铅卤化物钙钛矿薄膜稳定性好、成本低廉、表面平整、内部缺陷较少、工艺可重复性高，且绿色环保无污染，适合用于大规模产业化生产。

著录项

公开/公告号CN106282922A

专利类型发明专利
公开/公告日2017-01-04

原文格式PDF
申请/专利权人中国工程物理研究院材料研究所;
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申请/专利号CN201610806551.6
发明设计人杨盼;杨丽军;赵晓冲;王劲川;杨蕊竹;
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申请日2016-09-07
分类号C23C14/06(20060101);C23C14/24(20060101);
代理机构51239 成都众恒智合专利代理事务所(普通合伙);
代理人刘华平
地址 610000 四川省成都市双流区银河路596号
入库时间 2023-06-19 01:16:00

法律信息

法律状态公告日

法律状态信息

法律状态
2020-02-28

发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):C23C14/06 申请公布日:20170104 申请日:20160907

发明专利申请公布后的驳回
2017-02-01

实质审查的生效 IPC(主分类):C23C14/06 申请日:20160907

实质审查的生效
2017-01-04

公开

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