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一种电容式MEMS双轴加速度计

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摘要

本发明公开了一种电容式MEMS双轴加速度计，所述加速度计由下到上依次包括：基片、绝缘层、敏感器件层；敏感器件层包括：固定框架、折叠梁、敏感质量块、梳齿组合、锚点；其中，固定框架通过绝缘层固定在基片上，敏感质量块的4个端角分别设有一对折叠梁，每对折叠梁的中线正交，折叠梁的一端与固定框架连接，折叠梁的另一端与敏感质量块连接；敏感质量块四周分布有多个梳齿组合，梳齿组合包括：固定梳齿和可动梳齿，固定梳齿一端与固定框架连接，可动梳齿一端与敏感质量块连接，实现了电容式MEMS双轴加速度计灵敏度高、正交误差小的技术效果。

著录项

  • 公开/公告号CN106597016A

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2017-04-26

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 四川纳杰微电子技术有限公司;

    申请/专利号CN201611196565.7

  • 发明设计人 雷龙海;薛晓东;王龙峰;徐浩谋;王志;

    申请日2016-12-22

  • 分类号G01P15/125(20060101);G01P15/18(20130101);

  • 代理机构成都行之专利代理事务所(普通合伙);

  • 代理人郭受刚

  • 地址 610000 四川省成都市高新区新雅东街4号附2号3层

  • 入库时间 2023-06-19 01:58:08

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2017-07-18

    著录事项变更 IPC(主分类):G01P15/125 变更前: 变更后: 申请日:20161222

    著录事项变更

  • 2017-05-24

    实质审查的生效 IPC(主分类):G01P15/125 申请日:20161222

    实质审查的生效

  • 2017-04-26

    公开

    公开

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