公开/公告号CN107010631A
专利类型发明专利
公开/公告日2017-08-04
原文格式PDF
申请/专利权人 浙江晶圣美纳米科技有限公司;
申请/专利号CN201610060268.3
发明设计人 徐志国;
申请日2016-01-28
分类号C01B33/143(20060101);B82Y30/00(20110101);
代理机构
代理人
地址 312300 浙江省绍兴市浙江杭州湾上虞工业园东一区朝阳三路21号
入库时间 2023-06-19 02:58:05
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2018-11-27
实质审查的生效 IPC(主分类):C01B33/143 申请日:20160128
实质审查的生效
2017-08-04
公开
公开
机译: 胶体二氧化硅浆液,用于抛光硅晶片的边缘,具有高抛光效率,包括具有非球形形式的胶体二氧化硅
机译: 二氧化硅胶体和球形二氧化硅的制备方法
机译: 二氧化硅胶体和球形二氧化硅的制备方法