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用于测量从半导体材料反射的辐射的水平以用于测量半导体材料的掺杂物含量的系统

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摘要

一种通过以下来非接触地测量半导体材料的掺杂物含量的系统和方法：将离开材料的红外(IR)辐射反射到积分球中以散射所接收的辐射，并使部分的辐射穿过不同波长范围的带通滤波器，比较穿过每个滤波器的能级，并且通过参照由用于该系统的已知晶圆掺杂物含量制成的相关曲线来计算掺杂物含量。

著录项

  • 公开/公告号CN107112255A

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2017-08-29

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 奥罗拉太阳能科技(加拿大)公司;

    申请/专利号CN201580059150.2

  • 发明设计人 斯蒂芬·沃伦·布莱恩;

    申请日2015-08-28

  • 分类号H01L21/66(20060101);G01J3/433(20060101);H01L31/18(20060101);H01L33/00(20060101);

  • 代理机构11371 北京超凡志成知识产权代理事务所(普通合伙);

  • 代理人李丙林;王玉桂

  • 地址 加拿大不列颠哥伦比亚

  • 入库时间 2023-06-19 03:13:27

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2017-09-22

    实质审查的生效 IPC(主分类):H01L21/66 申请日:20150828

    实质审查的生效

  • 2017-08-29

    公开

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